Багмут, Александр Григорьевич2014-11-102014-11-102014Багмут А. Г. Электронная микроскопия пленок, осажденных лазерным испарением : монография / А. Г. Багмут ; Нац. техн. ун-т "Харьков. политехн. ин-т". – Харьков : Підручник НТУ "ХПІ", 2014. – 304 с.978-617-687-030-2https://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/10107Монография посвящена результатам электронно-микроскопических исследований структуры пленок и закономерностям ее формирования при дискретном осаждении на подложку пароплазменных потоков, сформированных импульсным лазерным распылением металлических и полупроводниковых мишеней. Также приведены результаты исследований структурных и фазовых превращений в пленках при отжиге и естественном старении. Предназначено для студентов, аспирантов и преподавателей физико-технических и материаловедческих специальностейruлазерная эрозионная плазмаплазмаэнергетический спектрпароплазменный потоклазерные конденсатытонкопленочные слоиосаждение пленокэпитаксиальные пленкилазерно-термическое соосаждениеаморфная средаэлектронографияаморфизированные конденсаты золотагазовые примесиконденсатыкристаллизациямонографияBook