Рост кристаллов при электронно-лучевой кристаллизации аморфных пленок HfO₂ - Багмут, Александр Григорьевич; Багмут, Иван Александрович; Николайчук, Григорий Павлович; Резник, Н. А. (НТУ "ХПІ", 2018)
Keywords: диоксид гафния; электронный луч; дендритная полиморфная кристаллизация; размерно-фазовый эффект