Багмут, Александр ГригорьевичБагмут, Иван АлександровичНиколайчук, Григорий ПавловичРезник, Н. А.2018-11-052018-11-052018Рост кристаллов при электронно-лучевой кристаллизации аморфных пленок HfO₂ / А. Г. Багмут [и др.] // Інформаційні технології: наука, техніка, технологія, освіта, здоров'я = Information technologies: science, engineering, technology, education, health : наук. вид. : тези доп. 26-ї міжнар. наук.-практ. конф. MicroCAD–2018, [16-18 травня 2018 р.] : у 4 ч. Ч. 1 / ред. Є. І. Сокол. – Харків : НТУ "ХПІ", 2018. – С. 315.https://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/38234ruдиоксид гафнияэлектронный лучдендритная полиморфная кристаллизацияразмерно-фазовый эффектThesis