Влияние давления и состава рабочей атмосферы при получении карбонитридных покрытий на основе молибдена - Мейлехов, Андрей Александрович; Соболь, Олег Валентинович; Масликов, В. Е. (Національний технічний університет "Харківський політехнічний інститут", 2018)
Keywords: рабочее давление; вакуумно-дуговые покрытия; осаждение