Куц, С. С.Куценко, Александр СергеевичМарченко, Игорь Иванович2015-12-112015-12-112010Куц С. С. Компьютерное моделирование формирования поверхности тонких плёнок кинетическим методом Монте-Карло / С. С. Куц, А. С. Куценко, И. И. Марченко // Вестник Нац. техн. ун-та "ХПИ" : сб. науч. тр. Темат. вып. : Системный анализ, управление и информационные технологии. – Харьков : НТУ "ХПИ", 2010. – № 9. – С. 93-99.https://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/18808В работе разработана модель осаждения тонких плёнок, основанная на методе кинетического Монте-Карло. Предложенный алгоритм учитывает процессы диффузии по адатомным узлам кристаллической решетки, а также эффект затенения осаждаемых атомов неровностями рельефа поверхности. Проведенные расчеты показывают хорошее согласие с имеющимися экспериментальными результатами.We developed a model of deposition of thin films based on the method of kinetic Monte Carlo. The proposed algorithm takes into account the processes of diffusion adatomnym lattice sites, as well as the effect of shadowing of the deposited atoms by the roughness of the surface relief. The simulations are in a good agreement with available experimental results.ruфизическое вакуумное осаждениепроцессы диффузииэффект затенениямодель осаждения плёнокпроцессы атомарного осажденияArticle