Газовая чувствительность пленок нанокристаллического SiC - Любов, Д. В.; Семёнов, А. В. (Національний технічний університет "Харківський політехнічний інститут", 2019)
Keywords: полупроводниковые газовые сенсоры; газочувствительные полупроводниковые материалы; карбид кремния; пленки нанокристаллического SiC; газовая атмосфера