Sobol, O. V.Postelnyk, A. A.Meylekhov, A. A.Andreev, A. A.Stolbovoy, V. A.Gorban, V. F.2023-01-072023-01-072017Structural Engineering of the Multilayer Vacuum Arc Nitride Coatings Based on Ti, Cr, Mo and Zr / O. V. Sobol [et al.] // Journal of Nano- and Electronic Physics. – 2017. – Vol. 9, No. 3. – P. 03003-1–03003-6.https://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/60953The possibilities of structural engineering of multi-period vacuum-arc coatings based on nitrides of transition metals Ti, Cr, Mo, and Zr have been investigated by structural studies (X-ray diffraction and electron microscopy) in combination with measurement of hardness by indentation. The formation of phases with a cubic crystal lattice under nonequilibrium conditions under vacuum arc method of production. The supply of a negative bias potential of – 200V in mononitrides leads to the predominant formation of texture of crystallites with the [111] axis. The introduction of thin (about 10 nm) metal layers leads to a decrease in texture perfection [111] and texture formation [100]. This effect is associated with a change in the stress-strain state of nitride layers. It is determined that the composite multiperiod coatings (Me1N/Me2N)/(Me1/Me2) have a greater hardness and greater resistance compared to MeN/Me. For a multiperiod system with damping metal layers – (ZrN/CrN)/(Zr/Cr), superhard coatings with a hardness of 46 GPa were obtained.Методами структурних досліджень (рентгенівська дифракція і електронна мікроскопія) в поєднанні з вимірюванням твердості індентуванням вивчені можливості структурної інженерії багатоперіодних вакуумно-дугових покриттів на основі нітридів перехідних металів Ti, Cr, Mo і Zr. Встановлено формування фаз з кубічною кристалічною решіткою в нерівноважних умовах при вакуумно-дуговому методі отримання. Подача негативного потенціалу зсуву -200В в мононітридах призводить до переважного утворення текстури кристалітів з віссю [111]. Введення тонких (близько 10 нм) металевих прошарків призводить до зменшення досконалості текстури [111] і формування текстури [100]. Цей ефект пов'язується зі зміною напружено-деформованого стану нітридних шарів. Визначено, що композиційні багатоперіодні покриття (Me1N/Me2N)/(Me1/Me2) мають високу твердість і високу стійкість в порівнянні з MeN/Me. Для багатоперіодної системи з демпфірувальними металевими шарами - (ZrN/CrN)/(Zr/Cr), отримані надтверді покриття з твердістю 46 ГПа.envacuum-arc methodmultiperiod coatingsstructural engineeringstress statehardnessstrengthтвердістьміцністьнапружений станбагатоперіодні покриттярентгенівська дифракціяелектронна мікроскопіяArticledoi.org/10.21272/jnep.9(3).03003https://orcid.org/0000-0002-4497-4419https://orcid.org/0000-0002-5290-7566