Застосування інтегрального параметра при аналізі впливу тиску та потенціалів на структуру і твердість вакуумно-дугових покриттів TiN та ZrN - Терлецький, Олександр Семенович; Пінчук, Наталія Володимирівна (Національний технічний університет "Харківський політехнічний інститут", 2022)
Keywords: осадження покриттів; режими отримання покриттів; вакуумно-дугові покриття; покриття TiN; покриття ZrN; структурні дослідження; інтегральний параметр; моделювання; макродеформації; перебудова кристалічної решітки