Вплив тиску та потенціалів зміщення на структуру та властивості нітридних покриттів TiN - Пінчук, Наталія Володимирівна; Терлецький, Олександр Семенович (Національний університет цивільного захисту України, 2022)
Keywords: матеріалознавство; хімічні технології; вакуумно-дугові покриття; твердість; міцність; кристаліти; осадження; деформація; напруження