Байрачний, Борис ІвановичЛяшок, Лариса ВасилівнаТокарєва, Ірина АнатоліївнаСьомкіна, Олена Володимирівна2015-11-272015-11-272012Пат. 73012 Україна, МПК (2012.01) B82B 3/00, H01L 21/20 (2006.01). Спосіб отримання тонких плівок оксиду алюмінію, які містять наноструктурований триоксид вольфраму [Текст] / Б. І. Байрачний, Л. В. Ляшок, І. А. Токарєва, О. В. Сьомкіна ; Нац. тех. ун-т "Харківський політехнічний інститут". – № u201201395 ; заяв. 10.02.2012 ; публ. 10.09.2012, Бюл. № 17. – 4 с.https://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/18470Спосіб отримання тонких плівок оксиду алюмінію, які містять наноструктурований триоксид вольфраму включає одержання поруватих оксидних плівок шляхом двостадійного анодування алюмінію з подальшим заповненням пор матриці. Заповнення пор проводять просоченням у розчині вольфрамату амонію з подальшим сушінням зразків та термічним розкладом солі до триоксиду вольфраму при температурі 450-500 °C протягом 30-40 хв.ukпатентикорисна модельнанотехнологіїплівкинаноструктури напівпровідниківоксид алюмініютриоксид вольфрамукомпозитні матеріалиTechnical Report