Semenov, A.Lubov, D.Makhonin, M.2023-11-072023-11-072020Semenov A. Ozone sensor based on nanocrystalline SiC films / A. Semenov, D. Lubov, M. Makhonin // Інформаційні технології: наука, техніка, технологія, освіта, здоров'я = Information technologies: science, engineering, technology, education, health : наук. вид. : тези доп. 28-ї міжнар. наук.-практ. конф. MicroCAD–2020, [28-30 жовтня 2020 р.] : у 5 ч. Ч. 1 / ред. Є. І. Сокол. – Харків : Планета-Прінт, 2020. – С. 341.https://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/70510enenvironmental problemsnanocrystalline SiC filmsozone in an air mixtureArticle