Error sources in a pyrometric system for controlling the parameters of A3B5 heterostructures during epitaxial growth - Voronko, A. O.; Novikov, D. O. (Національний технічний університет "Харківський політехнічний інститут", 2023)
Keywords: pyrometric systems; compound semiconductors; epitaxial growth; heterostructures; metalorganic chemical vapour deposition; temperature repeatability; temperature control system; measure of thermal radiation; pyrometry method; ambient temperature; spectral sensitivity of the photodiode; temperature dependence of the spectral sensitivity; thin-film structures; пірометричні системи; складні напівпровідники; епітаксіальний ріст; гетероструктури; металоорганічне хімічне осадження з парової фази; температурна повторюваність; система контролю температури; вимірювання теплового випромінювання; метод пірометрії; температура навколишнього середовища; спектральна чутливість фотодіода; температурна залежність спектральної чутливості; тонкоплівкові структури