Береснев, В. М.Соболь, О. В.Погребняк, А. Д.Литовченко, С. В.Иванов, О. Н.Немченко, У. С.Сребнюк, П. А.Мейлехов, А. А.Бармин, Александр ЕвгеньевичСтолбовой, В. А.Новиков, В. Ю.Мазилин, Б. А.Крицына, Е. В.Серенко, Т. А.Маликов, Л. В.2020-01-152020-01-152017Однослойные и многослойные вакуумно-дуговые покрытия на основе нитрида TiAlSiYN: состав, структура, свойства / В. М. Береснев [и др.] // Вопросы атомной науки и техники. – 2017. – № 4. – P. 88-96.https://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/43720Используя высокотехнологичное вакуумно-дуговое испарение в атмосфере азота с ионной бомбардировкой, получили однослойные и многослойные покрытия на основе TiAlSiYN с высокими механическими характеристиками: твердостью, достигающей 49,5 ГПа; стойкостью к износу с величиной критической точки LC5, достигающей 184,92 Н. Выявлены особенности радиационно-стимулированного воздействия при подаче потенциала смещения Ucм: формирование в нитридах покрытий на основе металлической ГЦК-решетки преимущественной ориентации кристаллитов с осью текстуры [111], а также увеличение при этом твердости. При увеличении Uсм от 50 до 200 В твердость как однослойных, так и многослойных покрытий повышается на 40…50%. Формирование при осаждении кремнийсодержащих слоев TiAlSiYN способствует достижению повышенной твердости, которая в случае однослойного покрытия, сформированного при Uсм = -200 В, составляет 49,5 ГПа, что соответствует сверхтвердому состоянию. Обсуждены механизмы формирования структуры, определяющие полученные механические характеристики однослойных и многослойных покрытий на основе нитрида TiAlSiYN.ruнаноструктурные материалынитрид титанакоррозионная стойкостькристаллитыструктурно-фазовый анализкремнийArticlehttps://orcid.org/0000-0001-7507-7596