Багмут, Александр ГригорьевичБагмут, Иван АлександровичРезник, Н. А.2017-08-142017-08-142016Багмут А. Г. Формирование микрокристаллов кубической фазы ZrO₂ при кристаллизации аморфных пленок, осажденных методом лазерной абляции Zr в атмосфере кислорода / А. Г. Багмут, И. А. Багмут, Н. А. Резник // Физика твердого тела. – 2016. – Т. 58, вып. 6. – С. 1221-1224.https://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/30792Изучены структура и фазовые превращения при отжиге пленок диоксида циркония, полученных импульсным лазерным распылением мишени Zr в атмосфере кислорода. Исследования проведены методами просвечивающей электронной микроскопии и электронографии. Установлены условия формирования как аморфной, так и кубической фазы ZrO₂. Воздействие на аморфную пленку электронного луча в вакууме сопровождается образованием микрокристаллов диоксида циркония с ГЦК-решеткой. Средний размер зерен в закристаллизованной пленке составляет 0.5 μm. Фазовое превращение сопровождается уплотнением материала пленки. Относительное изменение плотности при кристаллизации ZrO₂ составляет 10.27 ± 2.14%.ruдиоксид цирконияосаждение импульсноерешетка кристаллическаямикроскопия электроннаяArticle