Резонансная вихретоковая дефектоскопия тонких неферомагнитных пленок - Светличный, Виталий Анатольевич (Харьковский национальный университет радиоэлектроники, 2015)
Диссертация на соискание научной степени кандидата технических наук по специальности 05.11.13 - приборы и методы контроля и определения состава веществ. – Харьковский национальный университет радиоэлектроники, Харьков, 2015 г. Диссертация посвящена разработке метода и прибора для эффективного контроля дефектов структуры тонких неферромагнитных пленок. Рассмотрены общие положения применения вихретоковых преобразователей в дефектоскопии. Показаны характерные общие принципы построения вихретоковых дефектоскопов. Указаны направления улучшения метрологических показателей вихретоковых дефектоскопов тонких пленок. Выполнен анализ дефектов структуры тонких неферромагнитных пленок и методов контроля качества. Проведен анализ характеристик апериодических ВТП, способных выявлять указанные дефекты. Уточнена теория апериодических ВТП с учетом анализа влияния на характеристики преобразования внутреннего сопротивления источников питания и параметров нагрузки. Выполнен анализ характеристик вихретоковых резонансных ВТП предназначенных для выявления дефектов тонких неферромагнитных пленок. Рассмотрены различные режимы работы ВТП с учетом внутреннего сопротивления источника питания и сопротивления нагрузки, способы подключения ВТП к источнику и т.д. Выполнен анализ характеристик, даны сравнительная оценка и рекомендации, обосновавшие схемные решения и параметры ВТП. Доказаны преимущества резонансных ВТП относительно апериодических. Проведен анализ факторов, влияющих на точность выявления дефектов тонких неферромагнитных пленок средствами высокочастотной резонансной вихретоковой дефектоскопии. Показано, что одним из основных факторов, влияющих на точность измерений в резонансной вихретоковой дефектоскопии, является нестабильность рабочего зазора ВТП. Предложен вариант компенсации влияния изменения рабочего зазора при использовании резонансного ВТП накладного типа, работающего на двух различных частотах. Разработан способ резонансной дефектоскопии, позволяющий улучшить выявление дефектов в тонких неферромагнитных пленках. Исследована модель оценки взаимодействия резонансного ВТП с неферромагнитной тонкой пленкой. Приведены аналитические соотношения, проведены расчеты зависимости выходного сигнала от параметров ВТП. Для практического подтверждения аналитических положений работы выполнены экспериментальные исследования: влияние отдельных параметров резонансного ВТП на его основную характеристику преобразования; выбор рабочей частоты; поиск наиболее целесообразного способа создания компенсационного напряжения; уточнение особенностей работы трансформаторных ВТП на цилиндрических и плоских катушках; выбор типа ВТП и схемы его включения. Создан дефектоскоп, позволяющий выявлять дефекты структуры тонких неферромагнитных пленок.

Dissertation for the degree of Ph. D. in Engineering Science, specialty 05.11.13 – devices and methods of control and determination of the composition of substances. – Kharkov National University of Radio Electronics, Kharkov, 2015. The dissertation is devoted to the development of methods and instruments for the effective control of defects imperfections film structure The analysis of the characteristics of various ECP capable of detecting these defects. Considering the various modes of operation, taking into account the internal resistance of the power supply and the load resistance, how to connect to a power source ECP. Developed a way to improve the detection of defects in non–ferromagnetic thin films. A model to assess the interaction with non–ferromagnetic resonance ECP thin film. These analytical ratios were calculated according to the output signal from the parameters of the ECP. For experimental research laboratory prototype was manufactured eddy–current flaw detector by which to check whether the calculation of the theoretical and experimental relations.
Eddy current resonance flaw detection non-ferromagnetic thin films
Keywords: дефектоскоп; прибор контроля; вихретоковый преобразователь; вихретоковый контроль; тонкие неферромагнитные пленки; дефекты структуры; диссертации; flaw detector; device of testing; eddy-current probes; eddy-current testing; non-ferromagnetic thin film; defect structure; 620.179.147