Особливості формування вакуумно-дугових покриттів TiN, отриманих при дії постійного потенціалу ЗСУВУ - Пінчук, Наталія Володимирівна; Соболь, О. В.; Звягольський, О. В. (Національний технічний університет "Харківський політехнічний інститут", 2020)
Keywords: вакуумно-дугове осадження; осадження TiN покриттів; властивості покриттів