Севрюкова, Виктория АнатольевнаЗубарев, Евгений НиколаевичКондратенко, Валерий ВладимировичПершин, Юрий ПавловичЦебенко, В. О.2014-03-132014-03-132011Эволюция структуры пленок Мо, полученных методом магнетронного распыления на а-Si / В. А. Севрюкова [и др.] // Физическая инженерия поверхности. – 2011. – № 2, т. 9 – С. 102-114.https://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/4743ruаморфное состояниекластермежфазные границыкристаллизацияпросвечивающая электронная микроскопиярентгеновская дифрактометрияArticle