Підвищення чутливості газового сенсору з використанням компліментарної пари nc-SiC плівок різної провідності - Любов, Д. В.; Семенов, Олександр Володимирович (Національний технічний університет "Харківський політехнічний інститут", 2021)
Keywords: напівпровідникові газові сенсори; SiC матеріали; nc-SiC плівки з дірковою провідністю; сенсори на основі nc-SiC; nc-SiC плівки з електронною провідністю