Пінчук, Н. В.Соболь, Олег Валентинович2021-01-312021-01-312019Пінчук Н. В. Структурна інженерія багатошарових та багатоелементних нітридних покриттів, отриманих вакуумно-дуговим випаровуванням / Н. В. Пінчук, О. В. Соболь // XIII Міжнародна науково-практична конференція магістрантів та аспірантів : матеріали конф., 19-22 листопада 2019 р. / ред. Є. І. Сокол ; Нац. техн. ун-т "Харків. політехн. ін-т" [та ін.]. – Харків : НТУ "ХПІ", 2019. – С. 535-536.https://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/50658ukфізичне осадженняпарова фазавакуумно-дугове випаровуваннябагатоелементні нітридні покриттядефектиімпульснапругаThesis