Структурна інженерія багатошарових та багатоелементних нітридних покриттів, отриманих вакуумно-дуговим випаровуванням - Пінчук, Н. В.; Соболь, Олег Валентинович (Національний технічний університет "Харківський політехнічний інститут", 2019)
Keywords: фізичне осадження; парова фаза; вакуумно-дугове випаровування; багатоелементні нітридні покриття; дефекти; імпульс; напруга