Bagmut, O. G.Bagmut, I. O.Resnik, M. O.2023-11-072023-11-072021Bagmut O. G. Crystallization features of amorphous films of Sb₂S₃ / O. G. Bagmut, I. O. Bagmut, M. O. Resnik // Інформаційні технології: наука, техніка, технологія, освіта, здоров'я = Information technologies: science, engineering, technology, education, health : тези доп. 29-ї міжнар. наук.-практ. конф. MicroCAD–2021, [18-20 травня 2021 р.] : у 5 ч. Ч. 1 / ред. Є. І. Сокол. – Харків : Планета-Прінт, 2021. – С. 275.https://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/70527encrystallizationamorphous filmsexposureelectron beamsкристалізаціяаморфні плівкиопроміненняелектронні променіArticle