Артюков, И. А.Бурцев, В. А.Виноградов, А. В.Девизенко, Александр ЮрьевичКалинин, Н. В.Копылец, Игорь АнатольевичКондратенко, Валерий ВладимировичПуха, Владимир ЕгоровичСавицкий, Борис АндреевичФещенко, Р. М.2014-03-132014-03-132012Срезанные линейные зонные пластинки для жесткого рентгеновского излучения / И. А. Артюков, В. А. Бурцев, А. В. Виноградов и др. // Журнал технической физики. – 2012. – Вып. 9, т. 82. – С. 101-106.https://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/4750Рассмотрены линейные зонные пластинки для жесткого (E > 10 keV) рентгеновского излучения на основе срезов многослойных покрытий W5Si3/Si, изготовленных методом магнетронного распыления. Из численных расчетов следует, что эта пара материалов обеспечивает высокую эффективность в первом и втором порядках дифракции. Экспериментально установлено, что возможен синтез многослойных структур высокого качества, содержащих сотни слоев на кремниевых и стеклянных подложках. Показано, что их срезы могут быть получены путем ионного травления многослойного покрытия через маскуruчисленное моделированиемагнетронное распылениезонные пластинкимногослойные покрытиясрезыArticle