Конспект лекцій з дисципліни "Технологічні основи електроніки". Частина 1 - Зайцев, Роман Валентинович; Дроздов, Антон Миколайович; Зайцева, Лілія Василівна; Хрипунов, Геннадій Семенович (ТОВ "Друкарня Мадрид", 2021)
Мікроелектроніка як сучасний напрямок проектування та виробництва електронної аппаратури різного призначення є каталізатором науково-технічного прогрессу. Автоматизація виробництва, створення сенсорної техніки, розвиток автономних систем неможливі без використання інтегральниї мікросхем, мікропроцессорів та мікросборок. Технологія виготовлення виробів мікроелектроніки забезпечує в першу чергу високий рівень продуктивності праці, комплексну мініатюризацію елекронної апаратури, автоматики, обчислювальної техніки і включає в себе передовий досвід та досягнення багатьох галузей науки і техніки: від фізики взаємодії атомних та ядерних частинок з речовиною до мікрометалургії та приладобування. З кожним роком напівпровідники все більше проникають в різні галузі науки і техніки. З приладів, де використовуються напівпровідники, які вже завоювали собі місце в житті, можна назвати такі: 1. Випрямлячі змінного струму. 2. Діоди, тріоди та складніші кристалічні системи, застосовувані в приладах для радіозв’язку та телебачення. 3. Фото опори, фотодіоди, фото тріоди, вентильні фотоелементи, що використовуються в мікросхемах автоматики і телемеханіки, в пристроях, що керують атомно-енергетичними установками, рухом супутників Землі, космічних ракет і кораблів. 4. Термогенератори, фотоелементи, ядерні або атомні батареї, які безпосередньо перетворюють теплову, світлову і ядерну енергію в електричну. Вони є основою напівпровідникової енергетики. В рамках дисципліни розглядаються загальна характеристика технологічного процесу виготовлення напівпровідникових матеріалів, технологiя напівпровідникових та гібридних iнтегральних мiкросхем, основні технологічні базові процеси.
Keywords: конспект лекцій; електронні провідники; напівпровідникові сполуки; сублімація; перекристалізація; шліфування; механічна обробка кристалів; хімічне травлення; термічна дисоціація; типи дефектів