Наношарові багатоперіодні покриття на основі нітриду цирконію: склад, структура, властивості - Любченко, І. В.; Постельник, Ганна Олександрівна; Соболь, Олег Валентинович (ТОВ "Планета-Прінт", 2020)
Keywords: тонкоплівкові захисні покриття; фізико-механічні властивості; структурна інженерія; твердість; азотна атмосфера; осадження