Пантелеев, К. В.Воробей, Р. И.Тявловский, К. Л.Тявловский, А. К.Самарина, А. В.Свистун, А. И.Гусев, О. К.Жарин, А. Л.2023-10-152023-10-152017Метод управления процедурой приближения и слежения за изменением зазора отсчетного электрода цифрового зонда Кельвина / К. В. Пантелеев [и др.] // Актуальні проблеми автоматики та приладобудування : матеріали 1-ї Міжнар. наук.-техн. конф., 7-8 грудня 2017 р. / ред. кол.: П. О. Качанов [та ін.] ; Нац. техн. ун-т "Харків. політехн. ін-т" [та ін.]. – Харків : ФОП Мезіна В., 2017. – С. 180-181.https://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/69804ruцифровой зонд Кельвинаконтактная разность потенциаловкоэффициент компенсационной зависимостисистема зонд-образецсигналArticle