Lubov, D. V.Semenov, A. V.2023-05-232023-05-232019Lubov D. V. Gas-sensing properties of SiC nanocrystalline films with different conductivity type / D. V. Lubov, A. V. Semenov // XIII Міжнародна науково-практична конференція магістрантів та аспірантів : матеріали конф., 19-22 листопада 2019 р. / ред. Є. І. Сокол ; Нац. техн. ун-т "Харків. політехн. ін-т" [та ін.]. – Харків : НТУ "ХПІ", 2019. – С. 527-528.https://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/65377enelectronic semiconductor materialrange of chemical sensorshigh sensitivity of sensorsgas sensorscrystalline silicon carbideability of nanocrystalline SiC filmsArticle