Gas-sensing properties of SiC nanocrystalline films with different conductivity type - Lubov, D. V.; Semenov, A. V. (Національний технічний університет "Харківський політехнічний інститут", 2019)
Keywords: electronic semiconductor material; range of chemical sensors; high sensitivity of sensors; gas sensors; crystalline silicon carbide; ability of nanocrystalline SiC films