Бойко, Борис ТимофійовичШкалето, Володимир ІвановичХрипунов, Геннадій СеменовичЗайцев, Роман Валентинович2019-01-112019-01-112014Фізичне матеріалознавство для мікро- та наноелектроніки: дослідження структури тонких плівок електронографічними методами : навч. посібник : [у 2 т.]. Т. 1 / Б. Т. Бойко [та ін.] ; Нац. техн. ун-т "Харків. політехн. ін-т". – Харків : НТУ "ХПІ", 2014. – 142 с.https://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/39130ukелектронографіякартина дифракційнаелектронограмаплівка монокристалічнарефлекси зайвідифракція подвійнатекстура пластинчастарозширення тепловеBook