Багмут, Александр ГригорьевичБагмут, Иван АлександровичЖучков, Василий АнатольевичШевченко, М. О.2017-08-112017-08-112012Фазовые превращения в пленках, осажденных лазерной абляцией Hf в атмосфере кислорода / А. Г. Бахмут [и др.] // Журнал технической физики. – 2012. – Т. 82, вып. 6. – С. 122-126.https://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/30776Изучены структура и фазовые превращения при отжиге пленок диоксида гафния, полученных импульсным лазерным распылением мишени Hf в атмосфере кислорода. Исследования проведены с помощью методов просвечивающей электронной микроскопии и электронографии. Установлено формирование аморфной, тетрагональной, ромбической и моноклинной фаз HfO₂. Для тетрагональной модификации HfO₂ проявляется эффект эпитаксии на подложке (001) KCl. При отжиге аморфной пленки как в вакууме, так и в воздушной атмосфере происходит ее кристаллизация с образованием моноклинной модификации HfO₂. Воздействие на аморфную пленку электронного луча в вакууме сопровождается образованием ромбической и моноклинной модификаций HfO₂. При переходе от ромбической к моноклинной модификации HfO₂ имеет место фазовый размерный эффект. На заключительном этапе кристаллизации доминирующей составляющей является моноклинная модификация, представленная дендритными кристаллами HfO₂.ruдиоксид гафниямодификация моноклиннаямодификация орторомбическаяэпитаксия гидриднаянаслаивание молекулярноеосаждение импульсноеосаждение лазерноекристаллизацияArticle