Влияние тока Al-мишени на структуру и свойства пленок (Nb2Al)N с аморфноподобной фазой AlN - Иващенко, Владимир Иванович; Погребняк, Александр Дмитриевич; Соболь, Олег Валентинович; Рогоз, Владислав Николаевич; Мейлехов, Андрей Александрович; Дуб, Сергей Николаевич; Купчишин, Анатолий Иванович (Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе РАН, 2015)
Исследованы нанокомпозитные пленки на основе (Nb2Al)N, полученные с помощью магнетронного распыления. В пленках было идентифицировано два устойчивых состояния кристаллической структуры: NbN (c низким растворением Al до 5 at.%) с составом, близким к (Nb2Al)N, и аморфноподобная составляющая, связанная с состоянием нитрида алюминия при реактивном магнетронном распылении. Установлена чувствительность субструктурных характеристик к току, подаваемому на мишень из Al, а также их связь с нанотвердостью и твердостью по Кнупу. Последние изменяются в диапазоне 29−33.5 и 46−48 GPa соответственно.
Keywords: нанокомпозитные пленки; аморфноподобная фаза; пленки; покрытия AlN