Иващенко, Владимир ИвановичПогребняк, Александр ДмитриевичСоболь, Олег ВалентиновичРогоз, Владислав НиколаевичМейлехов, Андрей АлександровичДуб, Сергей НиколаевичКупчишин, Анатолий Иванович2015-04-232015-04-232015Влияние тока Al-мишени на структуру и свойства пленок (Nb2Al)N с аморфноподобной фазой AlN / В. И. Иващенко [и др.] // Письма в Журнал Технической Физики. – 2015. – Т. 41, вып. 14. – С. 72-78.https://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/14397Исследованы нанокомпозитные пленки на основе (Nb2Al)N, полученные с помощью магнетронного распыления. В пленках было идентифицировано два устойчивых состояния кристаллической структуры: NbN (c низким растворением Al до 5 at.%) с составом, близким к (Nb2Al)N, и аморфноподобная составляющая, связанная с состоянием нитрида алюминия при реактивном магнетронном распылении. Установлена чувствительность субструктурных характеристик к току, подаваемому на мишень из Al, а также их связь с нанотвердостью и твердостью по Кнупу. Последние изменяются в диапазоне 29−33.5 и 46−48 GPa соответственно.ruнанокомпозитные пленкиаморфноподобная фазапленкипокрытия AlNArticle