Спосіб виготовлення детектора ультрафіолетового випромінювання на основі наноструктур із оксиду цинку і срібла - Клочко, Наталя Петрівна; Копач, Володимир Романович; Клєпікова, Катерина Сергіївна; Хрипунов, Геннадій Семенович; Корсун, Валерія Євгеніївна; Кіріченко, Михайло Валерійович; Любов, Віктор Миколаєвич (ДП "Український інститут інтелектуальної власності", 2018)
Спосіб виготовлення детектора ультрафіолетового випромінювання на основі наноструктур із вкритих наночастинками срібла (HЧAg) масивів нанострижнів оксиду цинку (1-DZnO) із конфігурацією шарів "провідна підкладка|(НЧА@1-DZnO)|тильний контакт". При цьому формування наноструктурованих масивів нанострижнів ZnO здійснюють електроосадженням в імпульсному режимі, а для нанесення наночастинок срібла на поверхню ZnO використовують срібний золь. Контакти виготовляють із плівок алюмінію, які формують за допомогою вакуумного осадження Аl із застосуванням тіньової маски на провідній підкладці і на верхніх торцях вкритих HЧAg наноструктурованих масивів нанострижнів ZnO (тильний контакт) шляхом вакуумного випаровування алюмінію під кутом 65-75° від нормалі до підкладки. Освітлення здійснюють з боку підкладки із прозорого для ближнього ультрафіолетового випромінювання (БУФВ) скла, вкритого прозорою для БУФВ електропровідною плівкою.
Keywords: патент; корисна модель; хімічні реакції; електрична енергія; імпульси; фотодетектори; електропровідна плівка