Кучерський, В. Ю.Рябоштан, В. А.Губанова, А. В.Жадько, М. О.Зубков, Анатолій Іванович2023-10-312023-10-312020Вплив температури підкладки на термічну стабільність структури та мікротвердість вакуумних конденсатів системи Cu-Mo / В. Ю. Кучерський, В. А. Рябоштан, А. В. Губанова, М. О. Жадько, А. І. Зубков // Інформаційні технології: наука, техніка, технологія, освіта, здоров'я = Information technologies: science, engineering, technology, education, health : наук. вид. : тези доп. 28-ї міжнар. наук.-практ. конф. MicroCAD–2020, [28-30 жовтня 2020 р.] : у 5 ч. Ч. 1 / ред. Є. І. Сокол. – Харків : Планета-Прінт, 2020. – С. 285.https://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/70259ukзростання зерна матричного металузернограничні сегрегаціїплівка системи Cu-Moмікротвердістьтемпература конденсаціїArticle