Зайцева, Лілія ВасилівнаЗайцев, Роман ВалентиновичХрипунов, Геннадій СеменовичГоркунов, Борис Митрофанович2021-01-122021-01-122016Пат. на корисну модель 111320 Україна, МПК G01N 29/34 (2006.01). Тонкоплівковий ємнісний перетворювач / Зайцева Л. В., Зайцев Р. В., Хрипунов Г. С., Горкунов Б. М. ; власник НТУ "ХПІ" (Україна). – № u 2016 03899 ; заявл. 11.04.2016 ; опубл. 10.11.2016, Бюл. № 21. – 5 с. : іл.https://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/50148Тонкоплівковий ємнісний перетворювач на основі гетероструктури діелектрик/провідник містить діелектричний шар та провідний електрод. Діелектричний шар ємнісного перетворювача виконано на основі двошарової структури поліімід/Аl₂О₃, а провідний електрод виконано на основі двошарової прозорої структури ІТО/гребінчастий Аl.ukпатенткорисна модельметалеві виробиультразвукові коливанняпровідні електродихімічні елементидефектоскопіяTechnical Reporthttps://orcid.org/0000-0002-6448-5938https://orcid.org/0000-0002-8175-858X