Шевченко, І. І.Бондаренко, М. О.2024-02-152024-02-152023Шевченко І. І. Отримання та дослідження водовідштовхуючого покриття на рухомих елементах мікроприводу / І. І. Шевченко, М. О. Бондаренко // Проблеми інформатизації : тези доп. 11-ї міжнар. наук.-техн. конф., 16-17 листопада 2023 р., м. Баку, м. Харків, м. Бельсько-Бяла : [у 3 т.]. Т. 1 / Нац. ун-т оборони Азерб. республіки [та ін.]. – Харків : Impress, 2023. – С. 113.https://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/74128ukводовідштовхуючі покриттямікроприводитемпературатермовакуумне осадженняфізико-технічні параметриArticle