Отримання та дослідження водовідштовхуючого покриття на рухомих елементах мікроприводу - Шевченко, І. І.; Бондаренко, М. О. (Impress, 2023)
Keywords: водовідштовхуючі покриття; мікроприводи; температура; термовакуумне осадження; фізико-технічні параметри