Devizenko, A. Yu.Kopylets, I. A.Kondratenko, V. V.Pershyn, Yuriy P.Zubarev, Evgeniy N.Savitskiy, B. A.Devizenko, I. Y.2022-06-272022-06-272018Structure and mechanical stresses in TaSi 2 /Si multilayer / A.Yu. Devizenko [et al.] // Functional Materials. – 2018. – V. 25, No 4. – P. 729-735.https://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/57479enmultilayermagnetronzone platemechanical stressescrystalszationбагатошарові покриттямагнетронзонна плитамеханічні напругикристалізаціяStructure and mechanical stresses in TaSi 2 /Si multilayerСтруктура та механічні напруження у багатошаровому покритті TaSi 2 /SiArticledoi.org/10.15407/fm25.04.729