Structure and mechanical stresses in TaSi 2 /Si multilayer - Devizenko, A. Yu.; Kopylets, I. A.; Kondratenko, V. V.; Pershyn, Yuriy P.; Zubarev, Evgeniy N.; Savitskiy, B. A.; Devizenko, I. Y. (STC "Institute for Single Crystals", 2018)
Структура та механічні напруження у багатошаровому покритті TaSi 2 /Si
Keywords: multilayer; magnetron; zone plate; mechanical stresses; crystalszation; багатошарові покриття; магнетрон; зонна плита; механічні напруги; кристалізація