Зайцев, Роман ВалентиновичКіріченко, Михайло ВалерійовичЗайцева, Лілія ВасилівнаХрипунов, Геннадій СеменовичДроздов, Антон МиколайовичДроздова, Ганна Анатоліївна2021-08-032021-08-032021Методи дослідження структури тонких плівок : підручник / Р. В. Зайцев [та ін.] ; Нац. техн. ун-т "Харків. політехн. ін-т". – Харків : Бровін О. В., 2021. – 320 с.978-617-8009-16-8https://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/53807Книга являє собою підручник для студентів старших курсів вищих навчальних закладів, присвячений найсучаснішим методам дослідження поверхні твердого тіла - скануючій електронній та зондовій мікроскопії. У підручнику представлена сучасна наукова інформація про можливості атомно-силової та електронної скануючої мікроскопії. Наведено характерні особливості методик атомно-силової мікроскопії, які дозволяють отримувати додаткову інформацію про властивості досліджуваних об'єктів. Розглянуто принцип роботи електронного скануючого мікроскопа і приклади реалізації різних методик для дослідження мікроскопічних об'єктів. Продемонстровані методичні прийоми усунення спотворень одержуваних зображень.ukпідручникелектронографічні методиелектронограмимонокристалиподвійна дифракціяінтенсивність розсіюваннякрокові електродвигунимедіанна фільтраціяелектросилова мікроскопіяLearning Object