Диагностика лазерной плазмы и структура пленок, получаемых при импульсном лазерном напылении - Николайчук, Григорий Павлович (Національний технічний університет "Харківський політехнічний інститут", 2016)
Keywords: ИЛН; пленка многокомпонентных соединений; температура; режим наносекундной длительности; лазерный конденсат; фазовый состав пленки