Плёнки нанокристаллического SiC в качестве функциональных слоёв газовых сенсоров - Любов, Д. В.; Семёнов, А. В. (Національний технічний університет "Харківський політехнічний інститут", 2018)
Keywords: газовый сенсор; полупроводниковый датчик детектирования; полупроводниковые материалы; мультисенсор; слои нанокристаллического SiC