Любов, Д. В.Семёнов, А. В.2024-03-162024-03-162018Любов Д. В. Плёнки нанокристаллического SiC в качестве функциональных слоёв газовых сенсоров / Д. В. Любов, А. В. Семёнов // XII Міжнародна науково-практична конференція магістрантів та аспірантів : матеріали конф., 17-20 квітня 2018 р. : у 3 ч. Ч. 1 / ред. Є. І. Сокол ; Нац. техн. ун-т "Харків. політехн. ін-т" [та ін.]. – Харків : НТУ "ХПІ", 2018. – С. 215-216.https://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/75638ruгазовый сенсорполупроводниковый датчик детектированияполупроводниковые материалымультисенсорслои нанокристаллического SiCArticle