Богданов, Юрій СергійовичМалихін, Сергій ВолодимировичСуровицький, С. В.Геращенко, Станіслав Сергійович2023-10-092023-10-092021Структурні змінення в тонких Ti-Zr-Ni квазікристалічних плівках після опромінення плазмою / Ю. С. Богданов, С. В. Малихін, С. В. Суровицький, С. С. Геращенко // Інформаційні технології: наука, техніка, технологія, освіта, здоров'я = Information technologies: science, engineering, technology, education, health : тези доп. 29-ї міжнар. наук.-практ. конф. MicroCAD–2021, [18-20 травня 2021 р.] : у 5 ч. Ч. 1 / ред. Є. І. Сокол. – Харків : Планета-Прінт, 2021. – С. 220.https://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/69623ukквазікристалитонкі плівкидифрактограмимагнетронне розпиленняСтруктурні змінення в тонких Ti-Zr-Ni квазікристалічних плівках після опромінення плазмоюArticle