Методичні вказівки до виконання комплексної практичної роботи "Комп'ютерне моделювання процесів іонної імплантації, розпилення та іонно-променевого перемішування" - Зубарєв, Євгеній Миколайович; Малихін, Сергій Володимирович; Сіпатов, Олександр Юрійович; Конотопський, Леонід Євгенович (Національний технічний університет "Харківський політехнічний інститут", 2025)
Дане видання є методичними вказівками до комплексної практичної роботи «Комп’ютерне моделювання процесів іонної імплантації, розпилення та іонно-променевого перемішування» за курсом «Радіаційна стійкість матеріалів». Мета роботи – придбання навичок моделювання процесів, що відбуваються під час іонної імплантації, за допомогою програмного пакету SRIM. SRIM – це комплект програм, який дозволяє обчислювати місце зупинки та пробіг іонів з енергією від 10 еВ/аом до 2 ГеВ/аом (аом – атомна одиниця маси) у твердих тілах за допомогою квантово-механічного опису іонно-атомних зіткнень. Надалі, під словом "іон" мається на увазі рухомий атом, а під словом "атом" - атом мішені. Взаємодія іона і атома в процесі зіткнення описується екранованим кулонівським потенціалом з урахуванням перезарядки і кореляційних взаємодій між електронними оболонками, що перекриваються.
Keywords: методичні вказівки; типи обчислень; типи розрахункових залежностей; іони; фізичні процеси; фізика каскадів зіткнень