Тонконогий, В. М.Хомутова, Е. В.Носов, П. С.2019-01-312019-01-312009Тонконогий В. М. Определение массового баланса газов-реагентов в процессе нанесения ионно-плазменных покрытий / В. М. Тонконогий, Е. В. Хомутова, П. С. Носов // Високі технології в машинобудуванні = High technologies of machine-building : зб. наук. пр. – Харків : НТУ "ХПІ", 2009. – Вип. 2 (19). – С. 184-190.https://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/39453Determination of mass balance gases of reagents in the causing ions-plasma coverage.ruметод конденсации в вакуумеметод КИБвакуумная камераметоды нанесенияОпределение массового баланса газов-реагентов в процессе нанесения ионно-плазменных покрытийArticle