Соболь, Олег ВалентиновичПинчук, Наталия ВладимировнаПостельник, Анна АлександровнаДума, Евгений АлександровичМейлехов, Андрей Александрович2015-11-252015-11-252015Структура, субструктура и физико-механические свойства многослойных покрытий системы TiN/ZrN, полученных методом вакуумно-дугового испарения / О. В. Соболь [и др.] // Тези доп. 23-ї Міжнар. наук.-практ. конф. "Інформаційні технології : наука, техніка, технологія, освіта, здоров'я" (MicroCAD–2015), 20-22 травня 2015 р. / ред. Є. І. Сокол. – Харків : НТУ "ХПІ", 2015. – С. 352.https://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/18398ruвакуумно-дуговой методCrNTiNвакуумная дугаионизациямногослойные покрытияпотенциал смещенияпроцесс осажденияThesis