Bagmut, A. G.Bagmut, I. A.Nikolaychuk, G. P.Resnik, N.Taran, A. V.2023-01-092023-01-092022Crystals growth in amorphous films of Ta₂O₅ / A. G. Bagmut, I. A. Bagmut, G. P. Nikolaychuk, N. Resnik, A. V. Taran // Інформаційні технології: наука, техніка, технологія, освіта, здоров'я = Information technologies: science, engineering, technology, education, health : тези доп. 30-ї Міжнар. наук.-практ. конф. MicroCAD-2022, 19-21 жовтня 2022 р. / ред. Є. І. Сокол ; уклад. Г. В. Лісачук. – Харків : НТУ "ХПІ", 2022. – С. 333.https://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/60991encrystals growthamorphous filmspulsed laser sputteringelectron beam irradiationcrystallizationelectron microscopic investigationscrystallization modeslayer polymorphous crystallizationsingle crystalinterjacent crystallizationdisoriented crystalsisland polymorphic crystallizationpolycrystalline filmріст кристаліваморфні плівкиімпульсне лазерне розпиленняелектронне опроміненнякристалізаціяелектронно-мікроскопічні дослідженнярежими кристалізаціїпошарова поліморфна кристалізаціямонокристалміжперехідна кристалізаціядезорієнтовані кристалиострівна поліморфна кристалізаціяполікристалічна плівкаThesis