Клочко, Наталя ПетрівнаКопач, Володимир РомановичХрипунова, Аліна ЛеонідівнаКлєпікова, Катерина СергіївнаЖадан, Дмитро Олегович2019-03-072019-03-072019Методичні вказівки до виконання курсових робіт з курсу "Хімічні технології мікроелектроніки" : для студ. напрямку підгот. 153 "Мікро- та наносистемна техніка" / уклад. Н. П. Клочко [та ін.] ; Нац. техн. ун-т "Харків. політехн. ін-т". – Харків : Друкарня Мадрид, 2019. – 75 с.https://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/40116Предметом навчальної дисципліни "Хімічні технології мікроелектроніки" є фізико-хімічні явища та процеси, на яких засновано виробництво напівпровідникових та діелектричних матеріалів, а також сучасні хімічні та фізико-хімічні технології металізації виробів мікро- та наноелектроніки і методи синтезу нанокристалів, які у сукупності складають основну матеріальну базу мікро- та наноелектроніки. Метою викладання дисципліни є оволодіння студентами теоретичнх знань та набуття практичних вмінь і навичок для реалізації хімічних технологій виробництва матеріалів і виробів мікро- та наноелектроніки. Зокрема, передбачається оволодіння теоретичними знаннями і практичними навичками з електрохімічних методів синтезу металічних нанокристалів, створення діелектричних оксидних покриттів, тонкоплівкових конденсаторів та інших інтегрованих тонкоплівкових приладів на основі анодних плівок, а також виготовлення тонких електропровідних металічних шарів, омічних та випрямляючих контактів для мікро- і наноелектронних застосувань включно, для інтегральних схем, приладів надвисокочастотної техніки, фотоелектричних перетворювачів та низки інших оптоелектронних приладів.ukелектролітиелектроосадження металівелектрохімічне анодуваннямікроелектронікакурсова роботаLearning Object