Марченко, Игорь Иванович2017-06-192017-06-192008Марченко И. И. Влияние условий ионного облучения на эффективность азотирования алюминия / И. И. Марченко // Вестник Нац. техн. ун-та "ХПИ" : сб. науч. тр. Темат. вып. : Системный анализ, управление и информационные технологии. – Харьков : НТУ "ХПИ", 2008. – № 26. – С. 62-67.https://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/30206Методами компьютерного моделирования исследовано влияние толщины оксидного слоя на эффективность ионного азотирования алюминия. Были получены профили проникновения ионов азота с энергией 1-5 кэВ в алюминий при различных толщинах оксидного слоя. Рассчитаны интегральные коэффициенты распыления мишени.The influence of the oxide layer thickness on the effectiveness of the ion nitriding of aluminum is investigated by the methods of computer simulation. The profiles of the penetration of nitrogen ions with the energy 1-5 keV into aluminum were obtained for different oxide layer thicknesses. The integral sputtering ratios of the target are calculated.ruмоделирование компьютерноеметод Монте-КарлоTRIMобеспечение программноеоксид алюминияArticle