Модель резонансного вихретокового преобразователя предназначенного для контроля тонких неферомагнитных пленок - Светличный, Виталий Анатольевич; Хорошайло, Юрий Евгеньевич; Ампилогов, Михаил Александрович (НТУ "ХПИ", 2017)
Тонкие неферромагнитные пленки широко применяются в электронике в виде резистивных и емкостных элементов интегральных схем, устройств для записи и хранения информации, хемотронных приборах, в авиационной и космической технике, в оптике, микроволновой технике, применяются в качестве покрытия для защиты от электромагнитного излучения, а также используются в декоративных целях. В работе рассмотрены вопросы теории резонансных вихретоковых преобразователей предназначенных для контроля тонких неферромагнитных пленок. Выполнен анализ влияния внутреннего сопротивления источника питания преобразователя и параметров структуры тонких неферромагнитных пленок на входные и выходные параметры и характеристики преобразователя. Выполнено сравнение чувствительности модели резонансного преобразователя с моделью апериодического.

Thin non-ferromagnetic films are widely used in electronics in the form of resistive and capacitive elements of integrated circuits, devices for recording and storing information, hemotron devices, in aviation and space technology, in optics, microwave technology, used as coatings for protection against electromagnetic radiation, and also used In decorative purposes. The paper deals with the theory of resonance vibration current converters for the control of thin neferromagnetic films. The analysis of the influence of the internal resistance of the pow er supply of the converter and the parameters of the structure of thin non-ferromagnetic films on the input and output parameters and characteristics of the converter is performed. A comparison of the sensitivity of a resonant converter model with an aperiodic model is performed.
Model of resonant eddy current converter designed for control of thin non-ferromagnetic films
Keywords: измерительная индукционная катушка; характеристика преобразования; вносимый импеданс; функция преобразования; ВТП; measuring induction coil; transformation characteristic; introduced impedance