Хрипунов, Геннадій СеменовичЗайцев, Роман ВалентиновичХрипунова, Аліна ЛеонідівнаКіріченко, Михайло ВалерійовичМомотенко, Олександра Віталіївна2019-01-112019-01-112014Фізичне матеріалознавство для мікро- та наноелектроніки: дослідження структури тонких плівок методами скануючої зондової мікроскопії та спектроскопії : навч. посібник : [у 2 т.]. Т. 2 / Г. С. Хрипунов [та ін.] ; Нац. техн. ун-т "Харків. політехн. ін-т". – Харків : НТУ "ХПІ", 2014. – 198 с.https://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/39131ukмікроскопія зондовасканеробробка зображеньмікроскопія тунельнамікроскопія атомно-силовамікроскопія електросиловамікроскопія магнітно-силоваспектроскопія рентгенівськаспектроскопія фотоелектроннаспектроскопія оже-електроннаспектроскопія розсіювання повільних іонівдифракція повільних електронівBook