Клепиков, Владимир БорисовичПшеничников, Дмитрий Алексеевич2016-09-202016-09-202010Клепиков В. Б. Состояние и тенденции развития микро- и наноэлектромеханических систем / В. Б. Клепиков, Д. А. Пшеничников // Вестник Нац. техн. ун-та "ХПИ" : сб. науч. тр. Темат. вып. : Проблемы автоматизированного электропривода. Теория и практика. – Харьков : НТУ "ХПИ", 2010. – № 28. – С. 34-37.https://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/23287ruмикроэлектромеханические системынаноэлектромеханические системыструктура МЭМСмикросистемная техникаArticle