Компьютерное моделирование импульсной стимуляции на структуру и свойства вакуумно-дуговых покрытий TiN - Пинчук, Наталия Владимировна; Соболь, Олег Валентинович (Національний технічний університет "Харківський політехнічний інститут", 2019)
Keywords: компьютерное моделирование; импульсная стимуляция; вакуумно-дуговые покрытия; осаждение; паровая фаза