Кричковська, Лідія ВасилівнаДубоносов, Володимир Леонідович2022-10-282022-10-282018Кричковська Л. В. Отримання тонких плівок методом дуального розпилювання та їх дослідження / Л. В. Кричковська, В. Л. Дубоносов // Вчені записки Таврійського національного університету ім. В. І. Вернадського. Сер. : Технічні науки. – 2018. – Т. 29 (68), № 1, ч. 2. – С. 148-152.https://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/58772Алмазоподібні вуглецеві (DLC) плівки і гібридні плівки алмазоподібного вуглецю з органічними полімерами (DLC-p-h) отримували з використанням методу магнетронного дуального розпилення, характеристики плівки вивчали методами комбінаційного світорозсіювання (RLS) і наноіндентифікації.ukдуальне магнетронне розпилюванняалмазоподібні плівкикомбінаційне розсіюваннянаноіндентифікаціяdual magnetron sputteringdiamond-like filmscombination scatteringnano-identificationArticle