Глущенко, Мария АлександровнаБелозеров, Валерий ВладимировичСоболь, Олег ВалентиновичСубботина, Валерия ВалерьевнаЗеленская, Галина ИвановнаЗубков, Анатолий Иванович2020-02-112020-02-112019Влияние тантала на текстуру вакуумных конденсатов меди / М. А. Глущенко [и др.] // Journal of nano- and electronic physics = Журнал нано- та електронної фізики. – 2017. – Vol. 9, № 2. – P. 02015-1-02015-4.https://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/44280Изучена структура вакуумных конденсатов Cu(Ta) толщиной до 50 мкм отделенных от неориентирующих подложек. Обнаружено, что конденсаты Cu(Ta), полученные при температуре подложки 100 °С, имеют текстуру типа <111> перпендикулярно их поверхности. Степень и характер текстурированности зеренной структуры медной матрицы зависят от концентрации тантала, температуры подложки и сохраняются при последующем отжиге. Изученные закономерности объясняются формированием атомами тантала сегрегаций на границах зерен медной матрицы в процессе конденсации двухкомпонентного пара.The structure of 50 microns thick separated from the nonorienting substrate Cu(Ta) vacuum condensates is studied. It is found that Cu(Ta) condensates, obtained at the substrate temperature of 100 °C have a <111> type texture perpendicular to their surface. The degree and nature of the texturing of the grain structure of the copper matrix, which depend on the concentration of tantalum and the substrate temperature is maintained during subsequent annealing. The regularities studied are explained by the formation by tantalum atoms of segregation at the grain boundaries of the copper matrix during the condensation of two-component vapor.ruдифрактометрэлектронограммаструктураэлектронная техникаконденсатstructureArticledoi.org/10.21272/jnep.9(2).02015