Оптимизация газочувствительных свойств nc-SiC пленок в условиях облучения высокоэнергетичными электронами - Любов, Д. В.; Семёнов, А. В.; Махонин, Николай Витальевич; Борискин, В. Н. (ТОВ "Планета-Прінт", 2021)
Keywords: газовые сенсоры; полупроводниковые газовые сенсоры; радиационные стойкости; обработка электронами