Зубарев, Евгений НиколаевичКондратенко, Валерий ВладимировичПершин, Юрий ПавловичСеврюкова, Виктория Анатольевна2022-06-282022-06-282009Особенности формирования многослойных периодических систем Mo/Si при различных давлениях рабочего газа / Е.Н. Зубарев [и др.] // Фізичні явища в твердих тілах : матеріали 9-ої Міжнар. конф. (1-4 грудня 2009 р.) / ред.: В. С. Криловський, В. П. Пойда. – Харків : ХНУ, 2009. – С. 82.https://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/57524ruмногослойные периодические системы Mo/Siмногослойная рентгеновская оптикаметод магнетронного распыленияэлектронная микроскопияThesis